Laser in der Mikroproduktionstechnik

In der Vorlesung werden Produktionstechniken zur Herstellung von Mikroprodukten behandelt. Hierzu werden zunächst notwendige Grundlagen zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung vermittelt. Anschließend wird die Interaktion von Laserstrahlung hoher Energiedichte mit Materie erläutert. Diese findet bei den behandelten Verfahren Mikrotrennen und Mikrofügen statt. Abschließend werden Methoden jenseits der Beugungsbegrenzung aufgezeigt.